国家知识产权局信息显示，上海芯源微企业发展有限公司申请一项名为“基于气液双相协同的晶圆处理装置”的专利，公开号CN121035020A，申请日期为2025年9月双相钢 。专利摘要显示，本申请提供了一种基于气液双相协同的晶圆处理装置，包括旋转机构、第一药液供应机构、第二药液供应机构和喷气机构，其中，第一药液供应机构包括位于目标晶圆下表面的第一药液喷嘴，以对目标晶圆的下表面喷涂药液，第二药液供应机构设置于目标晶圆的上侧面，以在目标晶圆的上表面喷涂药液。喷气机构包括第一喷气口和第二喷气口，第一喷气口设置于第一药液喷嘴内，第一喷气口用于在第一药液供应机构和第二药液供应机构对目标晶圆喷射药液时对目标晶圆的下表面喷射气体，第二喷气口设置于第二药液供应机构，用于在第二药液供应机构对目标晶圆的上表面喷射药液时喷射气体，从而在对晶圆表面覆盖液膜的同时，保护晶圆的表面免受飞溅颗粒的污染。
天眼查资料显示，上海芯源微企业发展有限公司，成立于2021年，位于上海市，是一家以从事商务服务业为主的企业双相钢 。企业注册资本63800万人民币。通过天眼查大数据分析，上海芯源微企业发展有限公司参与招投标项目8次，专利信息60条，此外企业还拥有行政许可60个。
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来源：市场资讯